荷蘭阿斯麥公司制造新一代光刻機(jī)

轉(zhuǎn)載自 北京日?qǐng)?bào) 2022-05-21

據(jù)路透社20日?qǐng)?bào)道，荷蘭阿斯麥公司(ASML)正在制造新款極紫外線(EUV)光刻機(jī)，每臺(tái)售價(jià)約4億美元。

路透社援引阿斯麥公司高級(jí)管理人員的話報(bào)道，新一代高數(shù)值孔徑EUV光刻機(jī)的原型機(jī)將在2023年上半年制造完成。這些高管說(shuō)，頂級(jí)芯片供應(yīng)商準(zhǔn)備最早2025年開(kāi)始使用上述產(chǎn)品的量產(chǎn)機(jī)。

報(bào)道援引美國(guó)超大枧模集成技術(shù)研究所專家丹·哈奇森的話說(shuō)，高數(shù)值孔徑EUV光刻機(jī)可為一些芯片企業(yè)提供巨大優(yōu)勢(shì)，“有點(diǎn)像誰(shuí)得到最好的槍”。

阿斯麥公司在EUV光刻機(jī)方面占據(jù)壟斷地位。據(jù)哈奇森介紹，中國(guó)臺(tái)灣積體電路制造股份有限公司（臺(tái)積電）本世紀(jì)頭十年使用阿斯麥公司的EUV光刻機(jī)，甩開(kāi)競(jìng)爭(zhēng)對(duì)手。美國(guó)英特爾公司首席執(zhí)行官帕特·格爾辛格為此發(fā)誓，在高數(shù)值孔徑EUV光刻機(jī)方面不會(huì)再犯同樣錯(cuò)誤。

EUV光刻機(jī)是縮小芯片制程的關(guān)鍵技術(shù)。鑒于同等空間內(nèi)晶體管數(shù)量越多，芯片性能就越強(qiáng)，因此芯片制程越小越好。

阿斯麥公司首席執(zhí)行官彼得·溫寧克說(shuō)，過(guò)去十年間，阿斯麥公司已售出大約140部EUV光刻機(jī)，每部售價(jià)約2億美元。卜曉明（新華社專特稿）